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德國研發晶圓切割技術

德國研發晶圓切割技術

 

作者:駐德國代表處科技組 (莊凱傑譯) 現職:駐德國代表處科技組

 

文章來源:Fraunhofer Research News 2009/8Topic 3

 

發佈時間:98.08.31

把洋蔥切成薄片的本領,不僅需要練習,更需要選擇正確的器具;同樣的原則適用於矽塊,也就是將矽塊切割成太陽能電池使用的晶圓,需要類似雞蛋切片器的特殊工具,才能將矽晶棒切成像紙一樣的薄片,將幾百公里長的金屬線按照一定的方法配置好後,以每小時60公里的速度來回切割矽晶棒,將矽晶棒同時切割成數百片晶圓,過程大概需要6個小時,產生的晶圓約180微米厚。

將晶圓切割的間隙寬度減少是一種挑戰,兩片晶圓的間隙的受控於金屬線的厚度。先用一種混合了碳化矽和聚乙二醇的研磨液將金屬線沾濕,這條線比矽還硬,能切削矽晶棒,切割中的矽變為粉末時就會產生間隙,間隙寬度目前約180微米,代表當我們切割出厚度為180微米的晶圓時,同樣耗損了一個晶圓體積的矽材料,經濟效率不佳,因此研究人員想要達成更小約100微米的間隙寬度。

德國環境保護與反應爐安全部(BMU),目前利用金屬線鋸研究矽材料的磨損過程和二者的接觸機制,主要對於金屬線、研磨液及矽晶棒,三者之間的相互作用感到興趣,並利用電腦模型來模擬各種配置,金屬線工作時的力量有多大?如何確保金屬線沾上適量的研磨液?研磨液中的粉粒應該多大?必須如何散布?

研究人員希望能找出上述問題的答案,達成金屬線和研磨液系統的最佳化,以適用於工業上;目前正在努力達成的間隙寬度為90微米,耗損將可減半並大大地提高效率。

http://stn.nsc.gov.tw/view_detail.asp?doc_uid=0980827033&kind_no=A04

 

 

 

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